氨处理抑制SiO2/ZrO2薄膜膜间渗透
안처리억제SiO2/ZrO2박막막간삼투
Infiltrating Control of SiO2/ZrO2 Sol-Gel Films by Ammonia Treatment
  • 万方数据
    原子能科学技术 원자능과학기술
    ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2009年 8期 711-715 ,共5页

    章春来%尹伟%祖小涛%王毕艺%向霞%袁晓东%蒋晓东%吕海兵%郑万国

    장춘래%윤위%조소도%왕필예%향하%원효동%장효동%려해병%정만국

    溶胶-凝胶%SiO2/ZrO2%氨处理%椭偏模拟%膜间渗透%激光损伤阈值 溶膠-凝膠%SiO2/ZrO2%氨處理%橢偏模擬%膜間滲透%激光損傷閾值
    용효-응효%SiO2/ZrO2%안처리%타편모의%막간삼투%격광손상역치
    以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2.研究表明,ψ和△两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理可有效抑制SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透,氨处理后渗透层减少近45 nm.利用激光束对两种样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为14.8和15.03 J/cm2,损伤形貌均为熔融型.
    이정규산을지화병순고위원료,용용효-응효법재K9기편상제랍도제SiO2/ZrO2쌍층막,양품1도완SiO2후직접도ZrO2,양품2도완SiO2경안처리후재도ZrO2.연구표명,ψ화△량개타편삼수적모의치곡선여타편의적측량치곡선십분문합,진이발현안처리가유효억제SiO2/ZrO2쌍층막지간적삼투,안처리후삼투층감소근45 nm.이용격광속대량충양품진행료손상역치적측시,용광학현미경관찰손상형모,결과발현량자손상역치분별위14.8화15.03 J/cm2,손상형모균위용융형.
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