CAJ | 학술논문

以硅纳米孔阵列(Si-NPA)为衬底,采用化学气相沉积法分别制备了SiC纳米颗粒/Si-NPA(nc-SiC/Si-NPA)和SiC纳米线/Si-NPA(nw-Si/Si-NPA)复合体系,并对其表面成分和形貌、室温湿敏性能进行了表征.实验结果表明,nc-SiC/Si-NPA和nw-SiC/Si-NPA均对水蒸气表现出灵敏的电容响应.当环境相对湿度从%增加到95%,在100Hz的测试频率下nc-SiC/Si-NPA的电容增加了750%,而nw-SiC/Si-NPA的电容增加了1050%.通过升湿和降湿动态过程,测得nc-SiC/Si-NPA的响应和恢复时间均为10 s,nw-SiC/Si-NPA的响应和恢复时间分别为100s和150 s.分析表明,nc-SiC/Si-NPA、nw-SiC/Si-NPA对湿度的高度敏感性主要源于nc-SiC、nw-SiC所引起感应面积的巨大增加,而其较短的响应和恢复时间则归因于阵列结构为水蒸气提供了有效的传输通道.
이규납미공진렬(Si-NPA)위츤저,채용화학기상침적법분별제비료SiC납미과립/Si-NPA(nc-SiC/Si-NPA)화SiC납미선/Si-NPA(nw-Si/Si-NPA)복합체계,병대기표면성분화형모、실온습민성능진행료표정.실험결과표명,nc-SiC/Si-NPA화nw-SiC/Si-NPA균대수증기표현출령민적전용향응.당배경상대습도종%증가도95%,재100Hz적측시빈솔하nc-SiC/Si-NPA적전용증가료750%,이nw-SiC/Si-NPA적전용증가료1050%.통과승습화강습동태과정,측득nc-SiC/Si-NPA적향응화회복시간균위10 s,nw-SiC/Si-NPA적향응화회복시간분별위100s화150 s.분석표명,nc-SiC/Si-NPA、nw-SiC/Si-NPA대습도적고도민감성주요원우nc-SiC、nw-SiC소인기감응면적적거대증가,이기교단적향응화회복시간칙귀인우진렬결구위수증기제공료유효적전수통도.