CAJ | 학술논문

为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺.旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜.然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线.通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰.经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3.6×10-3/℃以上,线性度优于0.7％,并且热敏响应速度极快；结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效性,并且获得了较好的测量重复性.该传感器阵列结构简单,工艺成本和复杂度较低,提高了用于非平面应用时柔性热膜元件与引线间的连接可靠性,为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供了新手段.
위료실현류장벽면전응력등동태정점분포측량,제출료일충신적유성열막전감기진렬결구,병개소료기제작공예.선도병승온고화제비취선아알유성박막츤저,재츤저상천사침적금속얼막,병용박리공예성형열민전조원건진렬급기인선구저막.연후재인선구저막상전도침적동막,재박리성형동인선.통과전도가이경제쾌속지획득교후적인선동막,사득인선전조원소우열민원건조치,유리우감소인선적열민간우.경열민성능측시,기전조온도계수체도3.6×10-3/℃이상,선성도우우0.7％,병차열민향응속도겁쾌；결합풍동시험험증료해전감기측량벽면전응력적유효성,병차획득료교호적측량중복성.해전감기진렬결구간단,공예성본화복잡도교저,제고료용우비평면응용시유성열막원건여인선간적련접가고성,위고곡솔표면적비파배성동태류장삼수측량제공료신수단.