真空
真空
진공
VACUUM
2012年
2期
71-76
,共6页
溅射深度剖析%定量分析%MRI模型%深度分辨率%扩散系数
濺射深度剖析%定量分析%MRI模型%深度分辨率%擴散繫數
천사심도부석%정량분석%MRI모형%심도분변솔%확산계수
本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述.MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(Ⅰ).通过考虑在溅射过程中发生的择优溅射效应,这一模型得以进一步完善.利用这一模型,可以定量分析深度剖析实验的深度分辨率,以及定量确定纳米薄膜中的互扩散系数.
本文對濺射深度剖析定量分析中廣汎應用的MRI模型及其應用作瞭一箇綜述.MRI模型攷慮瞭在深度剖析實驗中,引起真實元素成分深度分佈失真的三箇主要因素:濺射導緻的原子間混閤(M),樣品錶麵/界麵的粗糙度(R),測量技術的信息深度(Ⅰ).通過攷慮在濺射過程中髮生的擇優濺射效應,這一模型得以進一步完善.利用這一模型,可以定量分析深度剖析實驗的深度分辨率,以及定量確定納米薄膜中的互擴散繫數.
본문대천사심도부석정량분석중엄범응용적MRI모형급기응용작료일개종술.MRI모형고필료재심도부석실험중,인기진실원소성분심도분포실진적삼개주요인소:천사도치적원자간혼합(M),양품표면/계면적조조도(R),측량기술적신식심도(Ⅰ).통과고필재천사과정중발생적택우천사효응,저일모형득이진일보완선.이용저일모형,가이정량분석심도부석실험적심도분변솔,이급정량학정납미박막중적호확산계수.
