微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2012年
5期
1-3
,共3页
肖友文%谢贵久%何峰%张建国%袁云华%宋祖殷
肖友文%謝貴久%何峰%張建國%袁雲華%宋祖慇
초우문%사귀구%하봉%장건국%원운화%송조은
薄膜%热流检测%离子束溅射%高温%快速响应
薄膜%熱流檢測%離子束濺射%高溫%快速響應
박막%열류검측%리자속천사%고온%쾌속향응
薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量.热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器.试验结果表明:该传感器热响应时间可达0.1s,温度可达900℃.
薄膜熱流傳感器具有響應時間快,體積小等優勢,可用于航空、航天等領域高速飛行器錶麵短時間的高溫熱流瞬態測量.熱流傳感器原理基于不同熱障層薄膜下薄膜熱電偶溫度變化量的大小,通過離子束濺射鍍膜工藝成功製備快速響應薄膜高溫熱流傳感器.試驗結果錶明:該傳感器熱響應時間可達0.1s,溫度可達900℃.
박막열류전감기구유향응시간쾌,체적소등우세,가용우항공、항천등영역고속비행기표면단시간적고온열류순태측량.열류전감기원리기우불동열장층박막하박막열전우온도변화량적대소,통과리자속천사도막공예성공제비쾌속향응박막고온열류전감기.시험결과표명:해전감기열향응시간가체0.1s,온도가체900℃.
