磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2003年
1期
1-3
,共3页
王浩敏%林更琪%李震%李佐宜
王浩敏%林更琪%李震%李佐宜
왕호민%림경기%리진%리좌의
TbFeCo薄膜%射频磁控溅射%氩分压%磁光特性
TbFeCo薄膜%射頻磁控濺射%氬分壓%磁光特性
TbFeCo박막%사빈자공천사%아분압%자광특성
研究了射频磁控溅射的溅射氩气压的变化对TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影响,以及不同溅射氩气压下TbFeCo薄膜退火后的特性.溅射氩气压的变化通过改变表面状态影响TbFeCo薄膜矫顽力和克尔角,另外,溅射氩气压的变化会影响被溅射原子轰击薄膜的速度,从而影响TbFeCo薄膜的垂直磁各向异性、矫顽力、磁光克尔效应.
研究瞭射頻磁控濺射的濺射氬氣壓的變化對TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影響,以及不同濺射氬氣壓下TbFeCo薄膜退火後的特性.濺射氬氣壓的變化通過改變錶麵狀態影響TbFeCo薄膜矯頑力和剋爾角,另外,濺射氬氣壓的變化會影響被濺射原子轟擊薄膜的速度,從而影響TbFeCo薄膜的垂直磁各嚮異性、矯頑力、磁光剋爾效應.
연구료사빈자공천사적천사아기압적변화대TbFeCo박막적자화자광특성적영향,이급불동천사아기압하TbFeCo박막퇴화후적특성.천사아기압적변화통과개변표면상태영향TbFeCo박막교완력화극이각,령외,천사아기압적변화회영향피천사원자굉격박막적속도,종이영향TbFeCo박막적수직자각향이성、교완력、자광극이효응.
