太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
1999年
1期
74-77
,共4页
钝化膜%晶体硅太阳电池%氮化硅膜%丝网印刷法
鈍化膜%晶體硅太暘電池%氮化硅膜%絲網印刷法
둔화막%정체규태양전지%담화규막%사망인쇄법
采用热氧化法在多晶硅及单晶硅大面积太阳电池上生长二氧化硅钝化膜,结合丝网印刷制电极及二氧化钛减反射膜工艺,使太阳电池的扩散长度及效率得到改进.也进行了在多晶硅太阳电池上采用等离子沉积法制作氮化硅减反射膜的研究.
採用熱氧化法在多晶硅及單晶硅大麵積太暘電池上生長二氧化硅鈍化膜,結閤絲網印刷製電極及二氧化鈦減反射膜工藝,使太暘電池的擴散長度及效率得到改進.也進行瞭在多晶硅太暘電池上採用等離子沉積法製作氮化硅減反射膜的研究.
채용열양화법재다정규급단정규대면적태양전지상생장이양화규둔화막,결합사망인쇄제전겁급이양화태감반사막공예,사태양전지적확산장도급효솔득도개진.야진행료재다정규태양전지상채용등리자침적법제작담화규감반사막적연구.