电工材料
電工材料
전공재료
ELECTRICAL ENGINEERING MATERIALS
2004年
1期
24-27
,共4页
基片温度%Fe-N薄膜%晶粒取向%磁性能
基片溫度%Fe-N薄膜%晶粒取嚮%磁性能
기편온도%Fe-N박막%정립취향%자성능
用 X射线衍射仪和振动样品磁强计研究了双离子束溅射法制备的 Fe- N 薄膜的相组成和磁性能.结果表明,基片温度对不同基片上制得的薄膜的结构和磁性能有显著影响.基片温度为 250℃和 300℃时,在(111)硅片基片上制得无晶粒择优取向的单一γ′- Fe4N相;基片温度为160℃时,可在玻璃基片上制得具有(100)面晶粒取向的单一γ′- Fe4 N 相薄膜.薄膜磁性测量表明,与无晶粒择优取向的γ′- Fe4 N 相比较,具有(100)面晶粒取向的γ′- Fe4 N相的矫顽力较低,易达到磁饱和,但二者的饱和磁化强度基本一致.
用 X射線衍射儀和振動樣品磁彊計研究瞭雙離子束濺射法製備的 Fe- N 薄膜的相組成和磁性能.結果錶明,基片溫度對不同基片上製得的薄膜的結構和磁性能有顯著影響.基片溫度為 250℃和 300℃時,在(111)硅片基片上製得無晶粒擇優取嚮的單一γ′- Fe4N相;基片溫度為160℃時,可在玻璃基片上製得具有(100)麵晶粒取嚮的單一γ′- Fe4 N 相薄膜.薄膜磁性測量錶明,與無晶粒擇優取嚮的γ′- Fe4 N 相比較,具有(100)麵晶粒取嚮的γ′- Fe4 N相的矯頑力較低,易達到磁飽和,但二者的飽和磁化彊度基本一緻.
용 X사선연사의화진동양품자강계연구료쌍리자속천사법제비적 Fe- N 박막적상조성화자성능.결과표명,기편온도대불동기편상제득적박막적결구화자성능유현저영향.기편온도위 250℃화 300℃시,재(111)규편기편상제득무정립택우취향적단일γ′- Fe4N상;기편온도위160℃시,가재파리기편상제득구유(100)면정립취향적단일γ′- Fe4 N 상박막.박막자성측량표명,여무정립택우취향적γ′- Fe4 N 상비교,구유(100)면정립취향적γ′- Fe4 N상적교완력교저,역체도자포화,단이자적포화자화강도기본일치.
