玻璃与搪瓷
玻璃與搪瓷
파리여당자
2004年
6期
50-55
,共6页
薄膜%溶胶-凝胶法%基片清洗%薄膜涂覆
薄膜%溶膠-凝膠法%基片清洗%薄膜塗覆
박막%용효-응효법%기편청세%박막도복
溶胶-凝胶工艺是一种很有前途的薄膜制备方法.简单介绍了薄膜的种类及制作方法.将溶胶-凝胶法与PVD法和CVD法等进行了比较,说明了其制膜的优点,如工艺简单、设备要求低以及适合于大面积制膜.具体介绍了用溶胶-凝胶法制膜的流程及应用,着重介绍了基片的清洗方法和薄膜的涂覆方法.
溶膠-凝膠工藝是一種很有前途的薄膜製備方法.簡單介紹瞭薄膜的種類及製作方法.將溶膠-凝膠法與PVD法和CVD法等進行瞭比較,說明瞭其製膜的優點,如工藝簡單、設備要求低以及適閤于大麵積製膜.具體介紹瞭用溶膠-凝膠法製膜的流程及應用,著重介紹瞭基片的清洗方法和薄膜的塗覆方法.
용효-응효공예시일충흔유전도적박막제비방법.간단개소료박막적충류급제작방법.장용효-응효법여PVD법화CVD법등진행료비교,설명료기제막적우점,여공예간단、설비요구저이급괄합우대면적제막.구체개소료용용효-응효법제막적류정급응용,착중개소료기편적청세방법화박막적도복방법.
