无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2005年
3期
720-726
,共7页
刘成龙%杨大智%邓新绿%齐民
劉成龍%楊大智%鄧新綠%齊民
류성룡%양대지%산신록%제민
DLC薄膜%表面能%316L不锈钢%接触角
DLC薄膜%錶麵能%316L不鏽鋼%接觸角
DLC박막%표면능%316L불수강%접촉각
利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC)薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化.
利用微波-ECR等離子體源全方位離子註入設備,採用PSII與PSII+PECVD工藝在醫用316L不鏽鋼上製備碳改性薄膜.Raman光譜分析錶明,薄膜為典型的類金剛石(DLC)薄膜.靜態接觸角測量技術研究錶明:在痠堿溶液中,DLC薄膜錶麵價鍵遭到破壞,穩定性降低.不同工藝製備的DLC薄膜錶麵能在40mN/m左右,極性分量大于色散分量,呈現齣疏水性質.DLC薄膜錶麵能高低取決于錶麵碳碳鍵與粗糙度的變化.
이용미파-ECR등리자체원전방위리자주입설비,채용PSII여PSII+PECVD공예재의용316L불수강상제비탄개성박막.Raman광보분석표명,박막위전형적류금강석(DLC)박막.정태접촉각측량기술연구표명:재산감용액중,DLC박막표면개건조도파배,은정성강저.불동공예제비적DLC박막표면능재40mN/m좌우,겁성분량대우색산분량,정현출소수성질.DLC박막표면능고저취결우표면탄탄건여조조도적변화.
