人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2005年
4期
620-623
,共4页
薛玉明%孙云%周志强%孟广保%汲明亮%郑贵波%李长键
薛玉明%孫雲%週誌彊%孟廣保%伋明亮%鄭貴波%李長鍵
설옥명%손운%주지강%맹엄보%급명량%정귀파%리장건
化学水浴沉积法%CdS%白斑
化學水浴沉積法%CdS%白斑
화학수욕침적법%CdS%백반
本论文对CdS薄膜中的"白斑"进行了研究.化学水浴沉积法(CBD)制备CdS薄膜所需要的化学反应物包括硫脲、氨水、镉盐和铵盐等.文中采用两种镉盐和铵盐来沉积CdS薄膜:氯化镉和氯化铵,乙酸镉和乙酸铵.所沉积的CdS薄膜的表观形貌由SEM表征,成分由EDX表征.当镉盐和铵盐分别采用氯化镉和氯化铵时,生成的薄膜中存在大量的"白斑".这些"白斑"的成分不是CdS,而是(CdCl)2S.增加氨水的浓度可以大大减少这些"白斑",但是不能彻底消除这些"白斑".当镉盐和铵盐分别采用乙酸镉和乙酸铵时,生成的薄膜均匀、平整,薄膜中根本就不存在所谓的"白斑".因此,沉积CdS薄膜时,镉盐和铵盐不宜采用氯化镉和氯化铵,应该采用乙酸镉和乙酸铵.
本論文對CdS薄膜中的"白斑"進行瞭研究.化學水浴沉積法(CBD)製備CdS薄膜所需要的化學反應物包括硫脲、氨水、鎘鹽和銨鹽等.文中採用兩種鎘鹽和銨鹽來沉積CdS薄膜:氯化鎘和氯化銨,乙痠鎘和乙痠銨.所沉積的CdS薄膜的錶觀形貌由SEM錶徵,成分由EDX錶徵.噹鎘鹽和銨鹽分彆採用氯化鎘和氯化銨時,生成的薄膜中存在大量的"白斑".這些"白斑"的成分不是CdS,而是(CdCl)2S.增加氨水的濃度可以大大減少這些"白斑",但是不能徹底消除這些"白斑".噹鎘鹽和銨鹽分彆採用乙痠鎘和乙痠銨時,生成的薄膜均勻、平整,薄膜中根本就不存在所謂的"白斑".因此,沉積CdS薄膜時,鎘鹽和銨鹽不宜採用氯化鎘和氯化銨,應該採用乙痠鎘和乙痠銨.
본논문대CdS박막중적"백반"진행료연구.화학수욕침적법(CBD)제비CdS박막소수요적화학반응물포괄류뇨、안수、력염화안염등.문중채용량충력염화안염래침적CdS박막:록화력화록화안,을산력화을산안.소침적적CdS박막적표관형모유SEM표정,성분유EDX표정.당력염화안염분별채용록화력화록화안시,생성적박막중존재대량적"백반".저사"백반"적성분불시CdS,이시(CdCl)2S.증가안수적농도가이대대감소저사"백반",단시불능철저소제저사"백반".당력염화안염분별채용을산력화을산안시,생성적박막균균、평정,박막중근본취불존재소위적"백반".인차,침적CdS박막시,력염화안염불의채용록화력화록화안,응해채용을산력화을산안.
