核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2006年
3期
252-256
,共5页
王照奎%林揆训%娄艳辉%林璇英%祝祖送
王照奎%林揆訓%婁豔輝%林璇英%祝祖送
왕조규%림규훈%루염휘%림선영%축조송
射频辉光放电%中性基团%质谱测量%可移动取样装置
射頻輝光放電%中性基糰%質譜測量%可移動取樣裝置
사빈휘광방전%중성기단%질보측량%가이동취양장치
设计了一个取样位置能在射频辉光放电等离子体电极间自由移动的取样装置,用质谱计测量了SiCl4等离子体的离子信号.提出了一种线性拟合的方法用于计算SiCl4等离子体的消耗率,利用测量的离子信号,计算出了SiCl4等离子体中SiCln(n=0～2)中性基团的空间分布.实验结果表明,可移动质谱取样装置的设计是合理的;用线性拟合方法得到的等离子体消耗率和中性基团的相对密度,比以前的方法得到的更精确.
設計瞭一箇取樣位置能在射頻輝光放電等離子體電極間自由移動的取樣裝置,用質譜計測量瞭SiCl4等離子體的離子信號.提齣瞭一種線性擬閤的方法用于計算SiCl4等離子體的消耗率,利用測量的離子信號,計算齣瞭SiCl4等離子體中SiCln(n=0～2)中性基糰的空間分佈.實驗結果錶明,可移動質譜取樣裝置的設計是閤理的;用線性擬閤方法得到的等離子體消耗率和中性基糰的相對密度,比以前的方法得到的更精確.
설계료일개취양위치능재사빈휘광방전등리자체전겁간자유이동적취양장치,용질보계측량료SiCl4등리자체적리자신호.제출료일충선성의합적방법용우계산SiCl4등리자체적소모솔,이용측량적리자신호,계산출료SiCl4등리자체중SiCln(n=0～2)중성기단적공간분포.실험결과표명,가이동질보취양장치적설계시합리적;용선성의합방법득도적등리자체소모솔화중성기단적상대밀도,비이전적방법득도적경정학.
