人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
1期
29-32
,共4页
崇二敏%李晓春%李春%闫鹏勋%张鹏举%刘洋%范晓彦
崇二敏%李曉春%李春%閆鵬勛%張鵬舉%劉洋%範曉彥
숭이민%리효춘%리춘%염붕훈%장붕거%류양%범효언
磁过滤等离子体%铜掺杂类金刚石纳米点阵列%氧化铝模板%场致发射
磁過濾等離子體%銅摻雜類金剛石納米點陣列%氧化鋁模闆%場緻髮射
자과려등리자체%동참잡류금강석납미점진렬%양화려모판%장치발사
利用磁过滤等离子体结合氧化铝模板(AA0)技术在室温下制备了具有优异场发射性能的铜掺杂类金刚石(DLC)纳米点阵列.微观分析表明,铜掺杂类金刚石纳米点阵列分布均匀,密度高达109cm-2;利用X射线光电子能谱对制备的铜掺杂类金刚石纳米点阵列进行结构分析,测得铜的掺杂量为3.6%且sp3键含量高达60%;通过对铜掺杂类金刚石纳米点阵列的场发射性能测试,试验结果表明,铜掺杂类金刚石纳米点阵列开启电场和阈值电场分别为0.08V/μm,0.42V/μm,并且在电场值为0.67V/μm时,发射电流密度高达95mA/cm2,场发射性能明显优于无掺杂类金刚石纳米点阵列.
利用磁過濾等離子體結閤氧化鋁模闆(AA0)技術在室溫下製備瞭具有優異場髮射性能的銅摻雜類金剛石(DLC)納米點陣列.微觀分析錶明,銅摻雜類金剛石納米點陣列分佈均勻,密度高達109cm-2;利用X射線光電子能譜對製備的銅摻雜類金剛石納米點陣列進行結構分析,測得銅的摻雜量為3.6%且sp3鍵含量高達60%;通過對銅摻雜類金剛石納米點陣列的場髮射性能測試,試驗結果錶明,銅摻雜類金剛石納米點陣列開啟電場和閾值電場分彆為0.08V/μm,0.42V/μm,併且在電場值為0.67V/μm時,髮射電流密度高達95mA/cm2,場髮射性能明顯優于無摻雜類金剛石納米點陣列.
이용자과려등리자체결합양화려모판(AA0)기술재실온하제비료구유우이장발사성능적동참잡류금강석(DLC)납미점진렬.미관분석표명,동참잡류금강석납미점진렬분포균균,밀도고체109cm-2;이용X사선광전자능보대제비적동참잡류금강석납미점진렬진행결구분석,측득동적참잡량위3.6%차sp3건함량고체60%;통과대동참잡류금강석납미점진렬적장발사성능측시,시험결과표명,동참잡류금강석납미점진렬개계전장화역치전장분별위0.08V/μm,0.42V/μm,병차재전장치위0.67V/μm시,발사전류밀도고체95mA/cm2,장발사성능명현우우무참잡류금강석납미점진렬.
