仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2008年
4期
892-896
,共5页
李世维%王群书%古仁红%刘君华
李世維%王群書%古仁紅%劉君華
리세유%왕군서%고인홍%류군화
加速度传感器%高g值%爆炸与冲击%微机械
加速度傳感器%高g值%爆炸與遲擊%微機械
가속도전감기%고g치%폭작여충격%미궤계
本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望.重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器.首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理,主要技术指标和敏感元件的结构特点,讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺.最后总结了高g值微机械加速度传感器未来的发展趋势.
本文對用于侵徹武器和爆炸現場測量的高g值加速度傳感器進行瞭四顧與展望.重點介紹瞭採用微機械工藝的高g值微加速度傳感器.首先分析瞭目前幾種新型壓阻式和電容式高g值硅微機械加速度傳感器的基本工作原理,主要技術指標和敏感元件的結構特點,討論瞭幾種用于製作高g值微加速度傳感器的新型材料和工藝.最後總結瞭高g值微機械加速度傳感器未來的髮展趨勢.
본문대용우침철무기화폭작현장측량적고g치가속도전감기진행료사고여전망.중점개소료채용미궤계공예적고g치미가속도전감기.수선분석료목전궤충신형압조식화전용식고g치규미궤계가속도전감기적기본공작원리,주요기술지표화민감원건적결구특점,토론료궤충용우제작고g치미가속도전감기적신형재료화공예.최후총결료고g치미궤계가속도전감기미래적발전추세.
