传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2008年
12期
12-15
,共4页
刘元浩%赵立波%赵玉龙%蒋庄德%田边%孟超
劉元浩%趙立波%趙玉龍%蔣莊德%田邊%孟超
류원호%조립파%조옥룡%장장덕%전변%맹초
波纹膜片%有限元分析%设计%优化
波紋膜片%有限元分析%設計%優化
파문막편%유한원분석%설계%우화
针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素-膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度.
針對隔離型壓力傳感器封裝的特點,介紹瞭波紋膜片的設計過程併利用有限元分析方法對影響波紋膜片性能的主要因素-膜片厚度和波紋深度進行瞭分析研究,對波紋膜片的結構進行優化,改善瞭封裝有波紋膜片的壓力傳感器的線性度和靈敏度.
침대격리형압력전감기봉장적특점,개소료파문막편적설계과정병이용유한원분석방법대영향파문막편성능적주요인소-막편후도화파문심도진행료분석연구,대파문막편적결구진행우화,개선료봉장유파문막편적압력전감기적선성도화령민도.
