电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2009年
1期
82-92
,共11页
周瑜升%王荣明%商广义%姚骏恩
週瑜升%王榮明%商廣義%姚駿恩
주유승%왕영명%상엄의%요준은
透射电子显微镜%单色器%能量分辨率%点分辨率%信息分辨极限
透射電子顯微鏡%單色器%能量分辨率%點分辨率%信息分辨極限
투사전자현미경%단색기%능량분변솔%점분변솔%신식분변겁한
自1932年透射电子显微镜发明以来,透射电子显微学在基础理论、仪器研制及其在材料科学、生命科学等领域的应用得到了迅速发展,200 kV场发射枪透射电子显微镜的点分辨率已迭0.19～0.25nm,能量分辨率为0.7～1.0 ev.进一步提高透射电子显微镜性能的关键在于降低物镜球差和电子束能量扩散等.球差校正器的发明使透射电镜的点分辨率已突破0.1 nm,电子源色差已成为进一步提高电子显微镜信息分辨极限和电子能量损失谱能量分辨率的瓶颈.在场发射枪透射电子显微镜上增加单色器(能量过滤器)可有效降低电子束的能量色散.减小色差时电子显微镜性能的影响.本文介绍了Wien型、Q型及Mandolime型等几种常见的能量过滤器的工作原理、结构、性能及其应用.
自1932年透射電子顯微鏡髮明以來,透射電子顯微學在基礎理論、儀器研製及其在材料科學、生命科學等領域的應用得到瞭迅速髮展,200 kV場髮射鎗透射電子顯微鏡的點分辨率已迭0.19～0.25nm,能量分辨率為0.7～1.0 ev.進一步提高透射電子顯微鏡性能的關鍵在于降低物鏡毬差和電子束能量擴散等.毬差校正器的髮明使透射電鏡的點分辨率已突破0.1 nm,電子源色差已成為進一步提高電子顯微鏡信息分辨極限和電子能量損失譜能量分辨率的瓶頸.在場髮射鎗透射電子顯微鏡上增加單色器(能量過濾器)可有效降低電子束的能量色散.減小色差時電子顯微鏡性能的影響.本文介紹瞭Wien型、Q型及Mandolime型等幾種常見的能量過濾器的工作原理、結構、性能及其應用.
자1932년투사전자현미경발명이래,투사전자현미학재기출이론、의기연제급기재재료과학、생명과학등영역적응용득도료신속발전,200 kV장발사창투사전자현미경적점분변솔이질0.19～0.25nm,능량분변솔위0.7～1.0 ev.진일보제고투사전자현미경성능적관건재우강저물경구차화전자속능량확산등.구차교정기적발명사투사전경적점분변솔이돌파0.1 nm,전자원색차이성위진일보제고전자현미경신식분변겁한화전자능량손실보능량분변솔적병경.재장발사창투사전자현미경상증가단색기(능량과려기)가유효강저전자속적능량색산.감소색차시전자현미경성능적영향.본문개소료Wien형、Q형급Mandolime형등궤충상견적능량과려기적공작원리、결구、성능급기응용.
