真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
169-173
,共5页
黄超%赵学玒%张建超%汪曣
黃超%趙學玒%張建超%汪曣
황초%조학강%장건초%왕연
电子轰击离子源%相空间%SIMION模拟%性能
電子轟擊離子源%相空間%SIMION模擬%性能
전자굉격리자원%상공간%SIMION모의%성능
本文首先利用离子光学模拟软件SIMION7.0,对自制的电子轰击离子源(EI)进行模拟试验,获得离子在EI内的运动参数,包括位置、速度.随后,利用相空间方法,分析EI各参数对其性能的影响,包括各电极电压对聚焦效果以及出射速度分散程度的影响,并最终获得EI各参数对离子源发射度的影响.本文的研究能够指导EI的理论设计,使其参数得到最优化.从而改善EI的性能,以实现EI与质量分析器最佳连接.
本文首先利用離子光學模擬軟件SIMION7.0,對自製的電子轟擊離子源(EI)進行模擬試驗,穫得離子在EI內的運動參數,包括位置、速度.隨後,利用相空間方法,分析EI各參數對其性能的影響,包括各電極電壓對聚焦效果以及齣射速度分散程度的影響,併最終穫得EI各參數對離子源髮射度的影響.本文的研究能夠指導EI的理論設計,使其參數得到最優化.從而改善EI的性能,以實現EI與質量分析器最佳連接.
본문수선이용리자광학모의연건SIMION7.0,대자제적전자굉격리자원(EI)진행모의시험,획득리자재EI내적운동삼수,포괄위치、속도.수후,이용상공간방법,분석EI각삼수대기성능적영향,포괄각전겁전압대취초효과이급출사속도분산정도적영향,병최종획득EI각삼수대리자원발사도적영향.본문적연구능구지도EI적이론설계,사기삼수득도최우화.종이개선EI적성능,이실현EI여질량분석기최가련접.
