物理学报
物理學報
물이학보
2000年
11期
2235-2239
,共5页
陶向明%曾耀武%冯春木%焦正宽%叶高翔
陶嚮明%曾耀武%馮春木%焦正寬%葉高翔
도향명%증요무%풍춘목%초정관%협고상
铝薄膜%液体衬底%微观结构
鋁薄膜%液體襯底%微觀結構
려박막%액체츤저%미관결구
研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌.与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比,两种铝薄膜均属颗粒结构,但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀,表面起伏较大等特点,而且在该铝薄膜边缘的下表面,有一明显的波纹状楔型结构,其斜率仅为10-4-10-5.实验结果表明:这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的.此外对样品的晶态也进行了研究.
研究瞭沉積在硅油襯底錶麵的連續鋁薄膜的微結構及其錶麵形貌.與沉積在單晶硅錶麵的鋁薄膜相比,兩種鋁薄膜均屬顆粒結構,但硅油錶麵的鋁薄膜具有顆粒呎吋較小、大小不均勻,錶麵起伏較大等特點,而且在該鋁薄膜邊緣的下錶麵,有一明顯的波紋狀楔型結構,其斜率僅為10-4-10-5.實驗結果錶明:這一現象是由于液體襯底的熱膨脹行為引起的.此外對樣品的晶態也進行瞭研究.
연구료침적재규유츤저표면적련속려박막적미결구급기표면형모.여침적재단정규표면적려박막상비,량충려박막균속과립결구,단규유표면적려박막구유과립척촌교소、대소불균균,표면기복교대등특점,이차재해려박막변연적하표면,유일명현적파문상설형결구,기사솔부위10-4-10-5.실험결과표명:저일현상시유우액체츤저적열팽창행위인기적.차외대양품적정태야진행료연구.
