东南大学学报（自然科学版）
東南大學學報（自然科學版）
동남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY
2005年
2期
188-191
,共4页
黄风义%孔晓明%蒋俊洁%姜楠
黃風義%孔曉明%蔣俊潔%薑楠
황풍의%공효명%장준길%강남
异质结双极晶体管器件%VBIC模型%参数提取
異質結雙極晶體管器件%VBIC模型%參數提取
이질결쌍겁정체관기건%VBIC모형%삼수제취
利用国际先进的2μm InGaP/GaAs HBT工艺加工生产线进行了晶体管芯片的加工,并在器件测试的基础上开展了模型参数的提取.所研究的模型主要是针对异质结双极晶体管器件HBT特别是砷化镓异质结双极晶体管器件,在对常用的几种器件模型,如EM模型、GP模型和VBIC模型的特点做比较的基础上,详细介绍了一种基于IC-CAP系统的准确提取VBIC模型的方法.利用提取的VBIC模型对所制备器件进行了模拟仿真,仿真结果与测试结果相比较二者可以很好吻合至20GHz.
利用國際先進的2μm InGaP/GaAs HBT工藝加工生產線進行瞭晶體管芯片的加工,併在器件測試的基礎上開展瞭模型參數的提取.所研究的模型主要是針對異質結雙極晶體管器件HBT特彆是砷化鎵異質結雙極晶體管器件,在對常用的幾種器件模型,如EM模型、GP模型和VBIC模型的特點做比較的基礎上,詳細介紹瞭一種基于IC-CAP繫統的準確提取VBIC模型的方法.利用提取的VBIC模型對所製備器件進行瞭模擬倣真,倣真結果與測試結果相比較二者可以很好吻閤至20GHz.
이용국제선진적2μm InGaP/GaAs HBT공예가공생산선진행료정체관심편적가공,병재기건측시적기출상개전료모형삼수적제취.소연구적모형주요시침대이질결쌍겁정체관기건HBT특별시신화가이질결쌍겁정체관기건,재대상용적궤충기건모형,여EM모형、GP모형화VBIC모형적특점주비교적기출상,상세개소료일충기우IC-CAP계통적준학제취VBIC모형적방법.이용제취적VBIC모형대소제비기건진행료모의방진,방진결과여측시결과상비교이자가이흔호문합지20GHz.
