表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2008年
1期
51-53
,共3页
超光滑表面%等离子体抛光%电容耦合放电%表面粗糙度%去除速率
超光滑錶麵%等離子體拋光%電容耦閤放電%錶麵粗糙度%去除速率
초광활표면%등리자체포광%전용우합방전%표면조조도%거제속솔
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术--等离子体抛光.介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化.结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工.
為瞭得到超光滑錶麵且無錶層損傷的光學元件,引入一種新型的超光滑錶麵加工技術--等離子體拋光.介紹瞭有關等離子體刻蝕的研究進展以及去除機理,在已經設計好的實驗平檯上進行等離子體加工工藝實驗,對影響去除效果的參數進行瞭實驗研究,最後進行工藝參數優化.結果錶明此技術能夠應用于對光學元件的加工.
위료득도초광활표면차무표층손상적광학원건,인입일충신형적초광활표면가공기술--등리자체포광.개소료유관등리자체각식적연구진전이급거제궤리,재이경설계호적실험평태상진행등리자체가공공예실험,대영향거제효과적삼수진행료실험연구,최후진행공예삼수우화.결과표명차기술능구응용우대광학원건적가공.
