中国体视学与图像分析
中國體視學與圖像分析
중국체시학여도상분석
CHINESE JOURNAL OF STEREOLOGY AND IMAGE ANALYSIS
2007年
4期
286-288
,共3页
孙红婵%李树奎%候岳翔%鲁旭东%郭伟
孫紅嬋%李樹奎%候嶽翔%魯旭東%郭偉
손홍선%리수규%후악상%로욱동%곽위
晶粒取向%晶界结构%CVD%EBSD
晶粒取嚮%晶界結構%CVD%EBSD
정립취향%정계결구%CVD%EBSD
采用电子背散射衍射技术(EBSD)测定了化学气相沉积纯钨(CVD-W)的晶粒取向和晶界分布特征,研究化学气相沉积方法制备纯钨的组织和晶界结构的特点.测试结果表明:CVD-W生长组织具有三个生长区,分别是等轴晶区、混合生长晶区和柱状晶区;柱状晶区的晶粒具有显著的〈001〉择优生长;低∑CSL晶界占据较大比例,其中以∑3、∑5为主要结构,∑3的出现频率最大.研究认为CVD-W的晶粒取向和晶界结构特点与沉积组织的生长特点密切相关.
採用電子揹散射衍射技術(EBSD)測定瞭化學氣相沉積純鎢(CVD-W)的晶粒取嚮和晶界分佈特徵,研究化學氣相沉積方法製備純鎢的組織和晶界結構的特點.測試結果錶明:CVD-W生長組織具有三箇生長區,分彆是等軸晶區、混閤生長晶區和柱狀晶區;柱狀晶區的晶粒具有顯著的〈001〉擇優生長;低∑CSL晶界佔據較大比例,其中以∑3、∑5為主要結構,∑3的齣現頻率最大.研究認為CVD-W的晶粒取嚮和晶界結構特點與沉積組織的生長特點密切相關.
채용전자배산사연사기술(EBSD)측정료화학기상침적순오(CVD-W)적정립취향화정계분포특정,연구화학기상침적방법제비순오적조직화정계결구적특점.측시결과표명:CVD-W생장조직구유삼개생장구,분별시등축정구、혼합생장정구화주상정구;주상정구적정립구유현저적〈001〉택우생장;저∑CSL정계점거교대비례,기중이∑3、∑5위주요결구,∑3적출현빈솔최대.연구인위CVD-W적정립취향화정계결구특점여침적조직적생장특점밀절상관.
