强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
5期
760-764
,共5页
徐世珍%吕海兵%田东斌%蒋晓东%袁晓东%祖小涛%郑万国
徐世珍%呂海兵%田東斌%蔣曉東%袁曉東%祖小濤%鄭萬國
서세진%려해병%전동빈%장효동%원효동%조소도%정만국
Nd%YAG激光%熔石英%化学腐蚀%亚表面缺陷%激光诱导损伤阈值
Nd%YAG激光%鎔石英%化學腐蝕%亞錶麵缺陷%激光誘導損傷閾值
Nd%YAG격광%용석영%화학부식%아표면결함%격광유도손상역치
采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响.测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化.研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除后损伤阈值增大,随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加,最后趋于稳定;然而,随蚀刻时间的增加,其表面粗糙度增大.分析表明,蚀刻到200 nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值,有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度.
採用榦涉儀和檯階儀測試蝕刻深度隨時間的變化,結閤材料去除速率測量,研究瞭HF痠蝕液對鎔石英錶麵蝕刻的影響.測試瞭蝕刻後損傷閾值和錶麵粗糙度的變化.研究錶明,鎔石英錶麵重沉積層厚度約16 nm,亞錶麵缺陷層大于106 nm;重沉積層去除後損傷閾值增大,隨亞錶麵缺陷層暴露其閾值先降低後又增加,最後趨于穩定;然而,隨蝕刻時間的增加,其錶麵粗糙度增大.分析錶明,蝕刻到200 nm能有效地提高鎔石英的低損傷閾值,有利于降低初始損傷點數量和提高鎔石英錶麵的機械彊度.
채용간섭의화태계의측시식각심도수시간적변화,결합재료거제속솔측량,연구료HF산식액대용석영표면식각적영향.측시료식각후손상역치화표면조조도적변화.연구표명,용석영표면중침적층후도약16 nm,아표면결함층대우106 nm;중침적층거제후손상역치증대,수아표면결함층폭로기역치선강저후우증가,최후추우은정;연이,수식각시간적증가,기표면조조도증대.분석표명,식각도200 nm능유효지제고용석영적저손상역치,유리우강저초시손상점수량화제고용석영표면적궤계강도.
