微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
11期
662-667
,共6页
动态原子力显微镜%近场扫描光学显微镜%间距控制%控制模式%扫描速度%分辨率
動態原子力顯微鏡%近場掃描光學顯微鏡%間距控製%控製模式%掃描速度%分辨率
동태원자력현미경%근장소묘광학현미경%간거공제%공제모식%소묘속도%분변솔
在动态原子力与近场光学扫描显微镜中,探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这两个最重要参数的性能.在对几种主要的动态原子力/扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距控制模式分析的基础上,认为提高探针Q值是提高扫描显微镜分辨率的有效方法.但是,对采用检测控制探针振幅模式,期望在提高分辨率的同时加快扫描成像速度是不可实现的,因而限制了其发展的空间.而在检测控制探针频率模式下,提高探针Q值,可有效提高扫描探针显微镜的分辨率,且不会制约扫描成像速度的提高.该结论为将来的纳米操作和纳米超高密度光存储的实用化提供了可能,对大连理工大学近场光学与纳米技术研究所研制的原子力与光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)的改进和产业化具有积极意义.
在動態原子力與近場光學掃描顯微鏡中,探針與樣品的間距關繫到分辨率以及掃描速度這兩箇最重要參數的性能.在對幾種主要的動態原子力/掃描近場光學組閤顯微鏡的探針/樣品間距控製模式分析的基礎上,認為提高探針Q值是提高掃描顯微鏡分辨率的有效方法.但是,對採用檢測控製探針振幅模式,期望在提高分辨率的同時加快掃描成像速度是不可實現的,因而限製瞭其髮展的空間.而在檢測控製探針頻率模式下,提高探針Q值,可有效提高掃描探針顯微鏡的分辨率,且不會製約掃描成像速度的提高.該結論為將來的納米操作和納米超高密度光存儲的實用化提供瞭可能,對大連理工大學近場光學與納米技術研究所研製的原子力與光子掃描隧道組閤顯微鏡(AF/PSTM)的改進和產業化具有積極意義.
재동태원자력여근장광학소묘현미경중,탐침여양품적간거관계도분변솔이급소묘속도저량개최중요삼수적성능.재대궤충주요적동태원자력/소묘근장광학조합현미경적탐침/양품간거공제모식분석적기출상,인위제고탐침Q치시제고소묘현미경분변솔적유효방법.단시,대채용검측공제탐침진폭모식,기망재제고분변솔적동시가쾌소묘성상속도시불가실현적,인이한제료기발전적공간.이재검측공제탐침빈솔모식하,제고탐침Q치,가유효제고소묘탐침현미경적분변솔,차불회제약소묘성상속도적제고.해결론위장래적납미조작화납미초고밀도광존저적실용화제공료가능,대대련리공대학근장광학여납미기술연구소연제적원자력여광자소묘수도조합현미경(AF/PSTM)적개진화산업화구유적겁의의.
