稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2006年
1期
150-153
,共4页
梁广%高文桂%刘伟平%普绍平%闫革新%侯英
樑廣%高文桂%劉偉平%普紹平%閆革新%侯英
량엄%고문계%류위평%보소평%염혁신%후영
化学气相沉积%乙酰丙酮钯%热分解行为
化學氣相沉積%乙酰丙酮鈀%熱分解行為
화학기상침적%을선병동파%열분해행위
采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为.通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气.
採用熱重-差熱(TG-DTA)與氣-質聯用(GC-MS)研究瞭CVD技術製備鈀膜材料的前驅體乙酰丙酮鈀[Pd(acac)2]的熱分解行為.通過對比其在空氣和氬氣兩種氣氛、不同溫度下的熱裂解產物,認為在以乙酰丙酮鈀為前驅體通過CVD技術製備鈀膜時,空氣比氬氣更適閤做載氣.
채용열중-차열(TG-DTA)여기-질련용(GC-MS)연구료CVD기술제비파막재료적전구체을선병동파[Pd(acac)2]적열분해행위.통과대비기재공기화아기량충기분、불동온도하적열렬해산물,인위재이을선병동파위전구체통과CVD기술제비파막시,공기비아기경괄합주재기.
