真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
267-271
,共5页
王权%胡然%丁建宁%何宇亮
王權%鬍然%丁建寧%何宇亮
왕권%호연%정건저%하우량
纳米硅薄膜%Raman%光谱%表面粗糙度%晶态比
納米硅薄膜%Raman%光譜%錶麵粗糙度%晶態比
납미규박막%Raman%광보%표면조조도%정태비
用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法,在玻璃和单晶si衬底上分别制备了氢化纳米硅薄膜,对在相同工艺条件下的薄膜进行了对比研究,即用Baman散射谱研究了薄膜的晶粒平均大小和晶态比;用台阶仪测试了薄膜厚度;用x射线衍射谱和原子力显微镜对薄膜微结构和形貌进行了对比研究,发现所制备薄膜的微观结构有很大的差异.相同工艺条件下,在玻璃衬底上生长的薄膜,表面粗糙度小于单晶si衬底上的薄膜,而晶化程度低于单晶Si衬底.掺杂使微结构发生了变化,掺P促进晶化,掺B促进非晶化,对此实验结果给出了定性的分析.
用等離子體增彊化學汽相沉積(PECVD)法,在玻璃和單晶si襯底上分彆製備瞭氫化納米硅薄膜,對在相同工藝條件下的薄膜進行瞭對比研究,即用Baman散射譜研究瞭薄膜的晶粒平均大小和晶態比;用檯階儀測試瞭薄膜厚度;用x射線衍射譜和原子力顯微鏡對薄膜微結構和形貌進行瞭對比研究,髮現所製備薄膜的微觀結構有很大的差異.相同工藝條件下,在玻璃襯底上生長的薄膜,錶麵粗糙度小于單晶si襯底上的薄膜,而晶化程度低于單晶Si襯底.摻雜使微結構髮生瞭變化,摻P促進晶化,摻B促進非晶化,對此實驗結果給齣瞭定性的分析.
용등리자체증강화학기상침적(PECVD)법,재파리화단정si츤저상분별제비료경화납미규박막,대재상동공예조건하적박막진행료대비연구,즉용Baman산사보연구료박막적정립평균대소화정태비;용태계의측시료박막후도;용x사선연사보화원자력현미경대박막미결구화형모진행료대비연구,발현소제비박막적미관결구유흔대적차이.상동공예조건하,재파리츤저상생장적박막,표면조조도소우단정si츤저상적박막,이정화정도저우단정Si츤저.참잡사미결구발생료변화,참P촉진정화,참B촉진비정화,대차실험결과급출료정성적분석.
