真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
258-261
,共4页
李昱%袁军林%翁卫祥%吴朝兴%贾贞%郭太良
李昱%袁軍林%翁衛祥%吳朝興%賈貞%郭太良
리욱%원군림%옹위상%오조흥%가정%곽태량
ZnO:Sn%薄膜电极%抗氧化%电阻率
ZnO:Sn%薄膜電極%抗氧化%電阻率
ZnO:Sn%박막전겁%항양화%전조솔
随着分辨率的提高,传统金属电极在电阻率和抗氧化性能方面已经不适合作为需要高温热处理的场致发射显示器件中的薄膜电极.本文采用5.77%(原子比)Sn掺杂的ZnO∶Sn作为Ag层的保护层,利用磁控溅射法制备ZnO∶Sn/Ag/ZnO∶Sn复合薄膜及其电极,并采用X射线衍射、光学显微镜、扫描电子显微镜和电性能测试系统研究复合薄膜及其电极在经过不同温度退火后的晶体结构、表面形貌和电学性能的变化.ZnO∶Sn膜层致密,25 nm厚的ZnO∶Sn 足以保护Ag层在530℃的高温中不被明显氧化,电极电阻率低达2.0×10-8Ω·m左右.
隨著分辨率的提高,傳統金屬電極在電阻率和抗氧化性能方麵已經不適閤作為需要高溫熱處理的場緻髮射顯示器件中的薄膜電極.本文採用5.77%(原子比)Sn摻雜的ZnO∶Sn作為Ag層的保護層,利用磁控濺射法製備ZnO∶Sn/Ag/ZnO∶Sn複閤薄膜及其電極,併採用X射線衍射、光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡和電性能測試繫統研究複閤薄膜及其電極在經過不同溫度退火後的晶體結構、錶麵形貌和電學性能的變化.ZnO∶Sn膜層緻密,25 nm厚的ZnO∶Sn 足以保護Ag層在530℃的高溫中不被明顯氧化,電極電阻率低達2.0×10-8Ω·m左右.
수착분변솔적제고,전통금속전겁재전조솔화항양화성능방면이경불괄합작위수요고온열처리적장치발사현시기건중적박막전겁.본문채용5.77%(원자비)Sn참잡적ZnO∶Sn작위Ag층적보호층,이용자공천사법제비ZnO∶Sn/Ag/ZnO∶Sn복합박막급기전겁,병채용X사선연사、광학현미경、소묘전자현미경화전성능측시계통연구복합박막급기전겁재경과불동온도퇴화후적정체결구、표면형모화전학성능적변화.ZnO∶Sn막층치밀,25 nm후적ZnO∶Sn 족이보호Ag층재530℃적고온중불피명현양화,전겁전조솔저체2.0×10-8Ω·m좌우.
