人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
2期
415-419
,共5页
李振豪%王忠华%李琳%普朝光%杨培志
李振豪%王忠華%李琳%普朝光%楊培誌
리진호%왕충화%리림%보조광%양배지
锆钛酸铅%铁电薄膜%快速退火%X射线衍射%原子力显微镜
鋯鈦痠鉛%鐵電薄膜%快速退火%X射線衍射%原子力顯微鏡
고태산연%철전박막%쾌속퇴화%X사선연사%원자력현미경
采用射频磁控溅射方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出(PZT)铁电薄膜,在550℃、600℃、650℃、700℃几个温度下对薄膜进行了快速退火热处理,并在退火处理后用X射线衍射、原子力显微镜和热释电系数测试系统研究了PZT铁电薄膜的薄膜结构、表面形貌及热释电性能.在650℃快速退火后,PZT铁电薄膜已经形成较好的钙钛矿相结构,并获得了较好的热释电性能,热释电系数达到1.5×10-8C·cm-2·k-1.
採用射頻磁控濺射方法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備齣(PZT)鐵電薄膜,在550℃、600℃、650℃、700℃幾箇溫度下對薄膜進行瞭快速退火熱處理,併在退火處理後用X射線衍射、原子力顯微鏡和熱釋電繫數測試繫統研究瞭PZT鐵電薄膜的薄膜結構、錶麵形貌及熱釋電性能.在650℃快速退火後,PZT鐵電薄膜已經形成較好的鈣鈦礦相結構,併穫得瞭較好的熱釋電性能,熱釋電繫數達到1.5×10-8C·cm-2·k-1.
채용사빈자공천사방법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비출(PZT)철전박막,재550℃、600℃、650℃、700℃궤개온도하대박막진행료쾌속퇴화열처리,병재퇴화처리후용X사선연사、원자력현미경화열석전계수측시계통연구료PZT철전박막적박막결구、표면형모급열석전성능.재650℃쾌속퇴화후,PZT철전박막이경형성교호적개태광상결구,병획득료교호적열석전성능,열석전계수체도1.5×10-8C·cm-2·k-1.
