传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
5期
79-81,87
,共4页
赵文宏%徐乐俊%宋闯%王章权%陈程远%周海军
趙文宏%徐樂俊%宋闖%王章權%陳程遠%週海軍
조문굉%서악준%송틈%왕장권%진정원%주해군
MEMS陀螺仪%零偏%最小二乘法%研磨均匀性
MEMS陀螺儀%零偏%最小二乘法%研磨均勻性
MEMS타라의%령편%최소이승법%연마균균성
为解决精密球体在研磨过程中的研磨轨迹无法测量等问题,将MEMS陀螺仪测量角速度技术应用到球体研磨轨迹的测量中,研究并实现了一种基于MEMS三轴陀螺仪和STM32微控制器的轨迹测量系统.介绍了ITG3200三轴陀螺仪的特点、原理以及轨迹测量系统方案设计；分析了温度影响陀螺仪零偏的机理,基于最小二乘法原理,建立了零偏补偿模型,有效地提高零偏稳定性,满足了工程需要.进行轨迹测量系统的双自转研磨实验,结果表明:双自转研磨方式研磨均匀性较好.
為解決精密毬體在研磨過程中的研磨軌跡無法測量等問題,將MEMS陀螺儀測量角速度技術應用到毬體研磨軌跡的測量中,研究併實現瞭一種基于MEMS三軸陀螺儀和STM32微控製器的軌跡測量繫統.介紹瞭ITG3200三軸陀螺儀的特點、原理以及軌跡測量繫統方案設計；分析瞭溫度影響陀螺儀零偏的機理,基于最小二乘法原理,建立瞭零偏補償模型,有效地提高零偏穩定性,滿足瞭工程需要.進行軌跡測量繫統的雙自轉研磨實驗,結果錶明:雙自轉研磨方式研磨均勻性較好.
위해결정밀구체재연마과정중적연마궤적무법측량등문제,장MEMS타라의측량각속도기술응용도구체연마궤적적측량중,연구병실현료일충기우MEMS삼축타라의화STM32미공제기적궤적측량계통.개소료ITG3200삼축타라의적특점、원리이급궤적측량계통방안설계；분석료온도영향타라의령편적궤리,기우최소이승법원리,건립료령편보상모형,유효지제고령편은정성,만족료공정수요.진행궤적측량계통적쌍자전연마실험,결과표명:쌍자전연마방식연마균균성교호.
