上海大学学报（自然科学版）
上海大學學報（自然科學版）
상해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
3期
327-330
,共4页
於凡枫%金晶%史伟民%瞿晓雷%许月阳
於凡楓%金晶%史偉民%瞿曉雷%許月暘
어범풍%금정%사위민%구효뢰%허월양
多循环快速热退火%非晶硅%晶化
多循環快速熱退火%非晶硅%晶化
다순배쾌속열퇴화%비정규%정화
介绍一种使用快速热退火设备,经多次循环退火诱导,在普通玻璃衬底上生长非晶硅薄膜晶化的实验方法.利用拉曼(Raman)光谱、原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)、紫外可见分光光度计(UV-VIS spectrophotometer)和霍尔(Hall)测试系统对薄膜的结构、形貌及电子迁移率进行测试.结果表明,当退火温度达到680℃时,薄膜开始出现晶化现象；随着快速热退火次数的增加,拉曼光谱在500 cm-1处测得多晶硅特征峰；在循环退火5次后,其最佳晶化率达到71.9％,光学带隙下降,晶粒增大,载流子迁移率提高.
介紹一種使用快速熱退火設備,經多次循環退火誘導,在普通玻璃襯底上生長非晶硅薄膜晶化的實驗方法.利用拉曼(Raman)光譜、原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)、紫外可見分光光度計(UV-VIS spectrophotometer)和霍爾(Hall)測試繫統對薄膜的結構、形貌及電子遷移率進行測試.結果錶明,噹退火溫度達到680℃時,薄膜開始齣現晶化現象；隨著快速熱退火次數的增加,拉曼光譜在500 cm-1處測得多晶硅特徵峰；在循環退火5次後,其最佳晶化率達到71.9％,光學帶隙下降,晶粒增大,載流子遷移率提高.
개소일충사용쾌속열퇴화설비,경다차순배퇴화유도,재보통파리츤저상생장비정규박막정화적실험방법.이용랍만(Raman)광보、원자력현미경(atomic force microscope,AFM)、자외가견분광광도계(UV-VIS spectrophotometer)화곽이(Hall)측시계통대박막적결구、형모급전자천이솔진행측시.결과표명,당퇴화온도체도680℃시,박막개시출현정화현상；수착쾌속열퇴화차수적증가,랍만광보재500 cm-1처측득다정규특정봉；재순배퇴화5차후,기최가정화솔체도71.9％,광학대극하강,정립증대,재류자천이솔제고.
