微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
31-35
,共5页
微电子机械系统%虚拟运行%动态运行规律%数学库%实时
微電子機械繫統%虛擬運行%動態運行規律%數學庫%實時
미전자궤계계통%허의운행%동태운행규률%수학고%실시
简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2]中的重要性,引入了动态运动规律和数学库的概念,提出了在单机多任务系统上,以事件发生时间推进的机制,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架.并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例,分析了虚拟运行中数学库的组织,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3]、微泵[4]、微加速度计[5]等微电子机械系统的设计和虚拟运行.
簡要論述瞭虛擬運行在MEMS設計繫統[1,2]中的重要性,引入瞭動態運動規律和數學庫的概唸,提齣瞭在單機多任務繫統上,以事件髮生時間推進的機製,帶有多箇運動部件及其運動規律的微機械繫統虛擬運行實現框架.併結閤靜電微馬達和雙金屬驅動微流量泵為例,分析瞭虛擬運行中數學庫的組織,動態運動規律的產生過程以及三維可視化的實時問題,所提齣併採用的實現框架適用于微馬達[3]、微泵[4]、微加速度計[5]等微電子機械繫統的設計和虛擬運行.
간요논술료허의운행재MEMS설계계통[1,2]중적중요성,인입료동태운동규률화수학고적개념,제출료재단궤다임무계통상,이사건발생시간추진적궤제,대유다개운동부건급기운동규률적미궤계계통허의운행실현광가.병결합정전미마체화쌍금속구동미류량빙위례,분석료허의운행중수학고적조직,동태운동규률적산생과정이급삼유가시화적실시문제,소제출병채용적실현광가괄용우미마체[3]、미빙[4]、미가속도계[5]등미전자궤계계통적설계화허의운행.
