厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2004年
z1期
365-368
,共4页
感应耦合等离子体%干法刻蚀%选择比
感應耦閤等離子體%榦法刻蝕%選擇比
감응우합등리자체%간법각식%선택비
介绍感应耦合等离子(ICP)的刻蚀原理,研究以SF6为刻蚀气体,不同的电极功率、气体流量、反应室压强、反应室温度、样片开槽宽度等工艺参数对Si和SiO2的刻蚀速率和选择比的影响.实验结果表明,提高RF1功率和SF6流量,可以提高刻蚀速率和选择比,提高RF2功率虽能提高刻蚀速率但降低选择比,反应室压强上升到1.2 Pa时,刻蚀速率达最大值,刻蚀温度为零度时,Si的刻蚀速率最大,开槽宽度对刻蚀速率影响不大.
介紹感應耦閤等離子(ICP)的刻蝕原理,研究以SF6為刻蝕氣體,不同的電極功率、氣體流量、反應室壓彊、反應室溫度、樣片開槽寬度等工藝參數對Si和SiO2的刻蝕速率和選擇比的影響.實驗結果錶明,提高RF1功率和SF6流量,可以提高刻蝕速率和選擇比,提高RF2功率雖能提高刻蝕速率但降低選擇比,反應室壓彊上升到1.2 Pa時,刻蝕速率達最大值,刻蝕溫度為零度時,Si的刻蝕速率最大,開槽寬度對刻蝕速率影響不大.
개소감응우합등리자(ICP)적각식원리,연구이SF6위각식기체,불동적전겁공솔、기체류량、반응실압강、반응실온도、양편개조관도등공예삼수대Si화SiO2적각식속솔화선택비적영향.실험결과표명,제고RF1공솔화SF6류량,가이제고각식속솔화선택비,제고RF2공솔수능제고각식속솔단강저선택비,반응실압강상승도1.2 Pa시,각식속솔체최대치,각식온도위령도시,Si적각식속솔최대,개조관도대각식속솔영향불대.
