包装工程
包裝工程
포장공정
PACKAGING ENGINEERING
2006年
5期
31-33
,共3页
汤文杰%张跃飞%陈强%葛袁静
湯文傑%張躍飛%陳彊%葛袁靜
탕문걸%장약비%진강%갈원정
大气压DBD%DLC薄膜%性能
大氣壓DBD%DLC薄膜%性能
대기압DBD%DLC박막%성능
大气下,采用DBD等离子体枪为等离子体聚合装置,以甲烷为单体,氩气为工作气体,在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响.通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理;表面轮廓仪测定了成膜速率;并对薄膜进行了机械性能测量.
大氣下,採用DBD等離子體鎗為等離子體聚閤裝置,以甲烷為單體,氬氣為工作氣體,在載玻片和單晶硅片上沉積類金剛石薄膜(DLC).攷察瞭基片預處理、內電極形狀、進氣方式、以及等離子體炬噴口和基材的距離對DLC薄膜沉積的影響.通過傅立葉變換紅外光譜(FTIR)分析聚閤膜結構併探索可能的沉積機理;錶麵輪廓儀測定瞭成膜速率;併對薄膜進行瞭機械性能測量.
대기하,채용DBD등리자체창위등리자체취합장치,이갑완위단체,아기위공작기체,재재파편화단정규편상침적류금강석박막(DLC).고찰료기편예처리、내전겁형상、진기방식、이급등리자체거분구화기재적거리대DLC박막침적적영향.통과부립협변환홍외광보(FTIR)분석취합막결구병탐색가능적침적궤리;표면륜곽의측정료성막속솔;병대박막진행료궤계성능측량.
