传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1792-1795
,共4页
溶胶-电雾化法%PZT薄膜%升温控制
溶膠-電霧化法%PZT薄膜%升溫控製
용효-전무화법%PZT박막%승온공제
首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜.
首次提齣瞭使用溶膠-電霧化法在光纖錶麵製備PZT壓電陶瓷薄膜,分析瞭光纖錶麵PZT壓電陶瓷薄膜的成膜機理與特點,繫統的研究瞭溶膠-電霧化法製備PZT壓電陶瓷薄膜的特點,併分析瞭前驅液濃度、電霧化條件、PZT壓電陶瓷薄膜沉積過程溫度等因素對于PZT壓電陶瓷薄膜的錶麵質量的影響.針對整箇工藝過程進行瞭優化,最終得到瞭錶麵質量較好的PZT壓電陶瓷薄膜.
수차제출료사용용효-전무화법재광섬표면제비PZT압전도자박막,분석료광섬표면PZT압전도자박막적성막궤리여특점,계통적연구료용효-전무화법제비PZT압전도자박막적특점,병분석료전구액농도、전무화조건、PZT압전도자박막침적과정온도등인소대우PZT압전도자박막적표면질량적영향.침대정개공예과정진행료우화,최종득도료표면질량교호적PZT압전도자박막.
