功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
38-42
,共5页
超短脉冲激光%烧蚀%雪崩电离%多光子吸收电离
超短脈遲激光%燒蝕%雪崩電離%多光子吸收電離
초단맥충격광%소식%설붕전리%다광자흡수전리
在Fokker_P1anck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型.其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响.
在Fokker_P1anck方程的基礎上,對超短脈遲激光燒蝕鎔融硅的機理進行分析研究,建立瞭雪崩電離、多光子吸收電離導緻的鎔融硅燒蝕機理的數學模型.其計算得齣的激光能量密度和臨界燒蝕閥值與實驗結果很好的吻閤,定量解釋瞭超短脈遲激光對鎔融硅燒蝕損傷微觀過程的影響.
재Fokker_P1anck방정적기출상,대초단맥충격광소식용융규적궤리진행분석연구,건립료설붕전리、다광자흡수전리도치적용융규소식궤리적수학모형.기계산득출적격광능량밀도화림계소식벌치여실험결과흔호적문합,정량해석료초단맥충격광대용융규소식손상미관과정적영향.
