人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
6期
1430-1434
,共5页
李丽%刘保亭%张新%闫小兵%郭颖楠
李麗%劉保亭%張新%閆小兵%郭穎楠
리려%류보정%장신%염소병%곽영남
铁酸铋薄膜%溶胶-凝胶法%铁电性能%漏电流
鐵痠鉍薄膜%溶膠-凝膠法%鐵電性能%漏電流
철산필박막%용효-응효법%철전성능%루전류
应用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了BiFeO3薄膜,构架了Pt/BiFeO3/Pt电容器.采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt/BiFeO3/Pt电容器的结构和物理性能.实验发现BiFeO3最佳的结晶温度为600 ℃,X射线衍射图谱显示BiFeO3薄膜结晶状况良好,原子力显微镜照片显示BiFeO3表面颗粒均匀.Pt/BiFeO3/Pt电容器具有良好的电学性能,在驱动电压为5 V的情况下,Pt/BiFeO3/Pt电容器的电滞回线具有良好的对称性,漏电流密度小于10-4 A/cm2,研究发现BiFeO3薄膜log(J)/log(E)关系满足空间电荷限制电流传导机制.
應用溶膠-凝膠法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上製備瞭BiFeO3薄膜,構架瞭Pt/BiFeO3/Pt電容器.採用X射線衍射儀和鐵電測試儀研究瞭Pt/BiFeO3/Pt電容器的結構和物理性能.實驗髮現BiFeO3最佳的結晶溫度為600 ℃,X射線衍射圖譜顯示BiFeO3薄膜結晶狀況良好,原子力顯微鏡照片顯示BiFeO3錶麵顆粒均勻.Pt/BiFeO3/Pt電容器具有良好的電學性能,在驅動電壓為5 V的情況下,Pt/BiFeO3/Pt電容器的電滯迴線具有良好的對稱性,漏電流密度小于10-4 A/cm2,研究髮現BiFeO3薄膜log(J)/log(E)關繫滿足空間電荷限製電流傳導機製.
응용용효-응효법재Pt/Ti/SiO2/Si(001)기편상제비료BiFeO3박막,구가료Pt/BiFeO3/Pt전용기.채용X사선연사의화철전측시의연구료Pt/BiFeO3/Pt전용기적결구화물이성능.실험발현BiFeO3최가적결정온도위600 ℃,X사선연사도보현시BiFeO3박막결정상황량호,원자력현미경조편현시BiFeO3표면과립균균.Pt/BiFeO3/Pt전용기구유량호적전학성능,재구동전압위5 V적정황하,Pt/BiFeO3/Pt전용기적전체회선구유량호적대칭성,루전류밀도소우10-4 A/cm2,연구발현BiFeO3박막log(J)/log(E)관계만족공간전하한제전류전도궤제.
