真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
3期
225-231
,共7页
李建昌%王博锋%单麟婷%姜永辉%韩小波%巴德纯
李建昌%王博鋒%單麟婷%薑永輝%韓小波%巴德純
리건창%왕박봉%단린정%강영휘%한소파%파덕순
二氧化锡%溶胶凝胶法%氧化铜%掺杂%电学特性
二氧化錫%溶膠凝膠法%氧化銅%摻雜%電學特性
이양화석%용효응효법%양화동%참잡%전학특성
以金属无机盐SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O和无水乙醇为原料,用溶胶凝胶法制备了SnO2和CuO掺杂的CuO-SnO2薄膜,并用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和电化学工作站对样品进行了表征.结果表明:随着退火温度的增加,薄膜结晶性变好,晶粒长大,电学特性增强,最佳退火温度确定为450℃.掺杂CuO的SnO2薄膜导电性好于同等条件下未掺杂的SnO2薄膜.SnO2呈四方相金红石结构,衍射峰显示薄膜中存在部分SnO.聚乙二醇的添加增强了SnO2的衍射峰,当超过一定添加量后将抑制晶粒的生长,并使得CuO-SnO2薄膜的导电性呈先减小后增大的趋势.丙三醇的添加可极大改善薄膜的表面形貌,增强了SnO2的衍射峰,且导电性明显变好.
以金屬無機鹽SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O和無水乙醇為原料,用溶膠凝膠法製備瞭SnO2和CuO摻雜的CuO-SnO2薄膜,併用X射線衍射、掃描電鏡、透射電鏡和電化學工作站對樣品進行瞭錶徵.結果錶明:隨著退火溫度的增加,薄膜結晶性變好,晶粒長大,電學特性增彊,最佳退火溫度確定為450℃.摻雜CuO的SnO2薄膜導電性好于同等條件下未摻雜的SnO2薄膜.SnO2呈四方相金紅石結構,衍射峰顯示薄膜中存在部分SnO.聚乙二醇的添加增彊瞭SnO2的衍射峰,噹超過一定添加量後將抑製晶粒的生長,併使得CuO-SnO2薄膜的導電性呈先減小後增大的趨勢.丙三醇的添加可極大改善薄膜的錶麵形貌,增彊瞭SnO2的衍射峰,且導電性明顯變好.
이금속무궤염SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O화무수을순위원료,용용효응효법제비료SnO2화CuO참잡적CuO-SnO2박막,병용X사선연사、소묘전경、투사전경화전화학공작참대양품진행료표정.결과표명:수착퇴화온도적증가,박막결정성변호,정립장대,전학특성증강,최가퇴화온도학정위450℃.참잡CuO적SnO2박막도전성호우동등조건하미참잡적SnO2박막.SnO2정사방상금홍석결구,연사봉현시박막중존재부분SnO.취을이순적첨가증강료SnO2적연사봉,당초과일정첨가량후장억제정립적생장,병사득CuO-SnO2박막적도전성정선감소후증대적추세.병삼순적첨가가겁대개선박막적표면형모,증강료SnO2적연사봉,차도전성명현변호.
