微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
1期
40-44
,共5页
集成电感器%快速傅立叶变换法(FFT)%磁镜像法%MMIC
集成電感器%快速傅立葉變換法(FFT)%磁鏡像法%MMIC
집성전감기%쾌속부립협변환법(FFT)%자경상법%MMIC
应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟结果,对薄膜平面射频集成电感器结构参数和加工参数进行了优化,改进了薄膜平面射频集成电感器的工艺方案.最后结合薄膜平面射频集成电感器薄膜的高频损耗分析,讨论了平面薄膜集成电感器薄膜微细加工技术.
應用磁鏡像法和快速傅立葉變換(FFT)法對單片微波集成電路(MMIC)的薄膜平麵射頻集成電感器進行瞭電磁學模擬,併把模擬結果和有限元法(FEM)模擬的結果[1]進行瞭比較.根據模擬結果,對薄膜平麵射頻集成電感器結構參數和加工參數進行瞭優化,改進瞭薄膜平麵射頻集成電感器的工藝方案.最後結閤薄膜平麵射頻集成電感器薄膜的高頻損耗分析,討論瞭平麵薄膜集成電感器薄膜微細加工技術.
응용자경상법화쾌속부립협변환(FFT)법대단편미파집성전로(MMIC)적박막평면사빈집성전감기진행료전자학모의,병파모의결과화유한원법(FEM)모의적결과[1]진행료비교.근거모의결과,대박막평면사빈집성전감기결구삼수화가공삼수진행료우화,개진료박막평면사빈집성전감기적공예방안.최후결합박막평면사빈집성전감기박막적고빈손모분석,토론료평면박막집성전감기박막미세가공기술.
