真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
1期
24-28
,共5页
张海波%冯仁剑%张丹%Katsumi URA
張海波%馮仁劍%張丹%Katsumi URA
장해파%풍인검%장단%Katsumi URA
电子照射%集成电路%绝缘体%表面带电%二次电子%轨迹%数值模拟
電子照射%集成電路%絕緣體%錶麵帶電%二次電子%軌跡%數值模擬
전자조사%집성전로%절연체%표면대전%이차전자%궤적%수치모의
绝缘膜正带电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子从正带电绝缘膜表面发射后的运动轨迹,分析了初始条件和电位分布形态对轨迹特性的影响.在轨迹计算和考虑二次电子发射概率分布的基础上得到了二次电子受局部电场作用而返回表面时的最大初始动能、分布规律,提出了通过简单的一维势垒模型来确定二次电子返回率的方法,为分析电子束照射绝缘膜时正带电效应所产生的二次电子信号衬度现象奠定了基础.
絕緣膜正帶電現象在集成電路芯片低能電子束檢測方麵具有可以利用的前景.採用簡化的錶麵電位分佈模型,通過數值方法計算瞭二次電子從正帶電絕緣膜錶麵髮射後的運動軌跡,分析瞭初始條件和電位分佈形態對軌跡特性的影響.在軌跡計算和攷慮二次電子髮射概率分佈的基礎上得到瞭二次電子受跼部電場作用而返迴錶麵時的最大初始動能、分佈規律,提齣瞭通過簡單的一維勢壘模型來確定二次電子返迴率的方法,為分析電子束照射絕緣膜時正帶電效應所產生的二次電子信號襯度現象奠定瞭基礎.
절연막정대전현상재집성전로심편저능전자속검측방면구유가이이용적전경.채용간화적표면전위분포모형,통과수치방법계산료이차전자종정대전절연막표면발사후적운동궤적,분석료초시조건화전위분포형태대궤적특성적영향.재궤적계산화고필이차전자발사개솔분포적기출상득도료이차전자수국부전장작용이반회표면시적최대초시동능、분포규률,제출료통과간단적일유세루모형래학정이차전자반회솔적방법,위분석전자속조사절연막시정대전효응소산생적이차전자신호츤도현상전정료기출.
