金属等离子体浸没Ta+和Ti+离子注入
금속등리자체침몰Ta+화Ti+리자주입
METAL PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION
  • 万方数据
    北京师范大学学报（自然科学版） 북경사범대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
    2000年 2期 181-183 ,共3页

    张涛%侯君达%张孝吉%张荟星%朱剑豪%曾照明%田修波

    장도%후군체%장효길%장회성%주검호%증조명%전수파

    金属离子注入%等离子体浸没%表面改性 金屬離子註入%等離子體浸沒%錶麵改性
    금속리자주입%등리자체침몰%표면개성
    采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统,实现Ta+和Ti+浸没注入,并对离子注入层予以表征.结果表明,等离子体浸没离子注入钽和钛的RBS分析射程,低于按设定加速电压的注入能量计算的TRIM射程.
    채용유음겁진공호등리자체원、부맥충고압파태화자과려계통조성적금속등리자체침몰주입계통,실현Ta+화Ti+침몰주입,병대리자주입층여이표정.결과표명,등리자체침몰리자주입단화태적RBS분석사정,저우안설정가속전압적주입능량계산적TRIM사정.
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