陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响
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The Effects of Ceramic Substrates on The Quality of Deposited Polycrystalline Si Thin-film
  • 万方数据
    稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
    RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
    2005年 z2期 1152-1154 ,共3页

    李海峰%黄勇%万之坚%张厚兴%张立明%许颖%王文静

    리해봉%황용%만지견%장후흥%장립명%허영%왕문정

    陶瓷衬底%多晶硅薄膜%太阳能电池 陶瓷襯底%多晶硅薄膜%太暘能電池
    도자츤저%다정규박막%태양능전지
    通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
    통과대불동도자츤저재료상침적다정규박막성능적연구,분석료도자재료본신적성질화열역학삼수、정체학삼수등성능대다정규박막침적질량적영향,재SiC츤저상제비료택우정향생장정립직경체190μm적다정규박막.
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