传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
6期
2421-2424
,共4页
杨苗苗%陈德勇%王军波%陈健%毋正伟%陈李
楊苗苗%陳德勇%王軍波%陳健%毌正偉%陳李
양묘묘%진덕용%왕군파%진건%무정위%진리
硅微加速度传感器%微弱电容检测%差分检测
硅微加速度傳感器%微弱電容檢測%差分檢測
규미가속도전감기%미약전용검측%차분검측
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63 V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
在測量硅微電容式加速度傳感器時,由于器件信號的微弱和寄生電容的榦擾,提高加速度的穩定性和分辨率非常睏難.針對這種情況,作者分析對比開關性和調製解調型兩種常見微弱電容檢測方法優缺點,併提齣瞭一種微電容檢測的改進電路,用此電路對電容式加速度傳感器進行瞭測試.數據錶明,微加速度計靈敏度為1.63 V/gn,可以檢測到10-17F量級的電容值.
재측량규미전용식가속도전감기시,유우기건신호적미약화기생전용적간우,제고가속도적은정성화분변솔비상곤난.침대저충정황,작자분석대비개관성화조제해조형량충상견미약전용검측방법우결점,병제출료일충미전용검측적개진전로,용차전로대전용식가속도전감기진행료측시.수거표명,미가속도계령민도위1.63 V/gn,가이검측도10-17F량급적전용치.
