高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质
고Al조분AlxGa1-xN박막적탄성-소성역학성질
Elastic-Plastic Mechanical Properties of AlxGa1-xN Thin Films with High Al Composition
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2007年 10期 1551-1554 ,共4页

    许福军%沈波%王茂俊%许谏%苗振林%杨志坚%秦志新%张国义%蔺冰%白树林

    허복군%침파%왕무준%허간%묘진림%양지견%진지신%장국의%린빙%백수림

    AlxGa1-xN薄膜%杨氏模量%力学性质%塑性形变 AlxGa1-xN薄膜%楊氏模量%力學性質%塑性形變
    AlxGa1-xN박막%양씨모량%역학성질%소성형변
    采用纳米压痕方法,研究了AlN/sphire模板上的高Al组分AlxGa1-xN薄膜的力学性质,特别是弹性-塑性转变行为.研究表明,AlxGa1-xN薄膜的杨氏模量E随着Al组分的增加而增大,薄膜中产生塑性形变所必要的剪切应力也随着Al组分的增加而增大.在AlxGa1-xN薄膜纳米压痕实验中,观察到位移不连续的跳断("pop-in")行为,并且发现"pop-in"行为强烈依赖于Al组分,Al组分的增加导致这种行为的减少.我们认为随着Al组分的增加,AlxGa1-xN中键能的增强和由于AlxGa1-xN与AlN/sapphire模板之间晶格失配减少这两个因素增加了AlxGa1-xN中新位错形成的阻力,从而导致了AlxGa1-xN薄膜中的"pop-in"行为随Al组分增加而减少.
    채용납미압흔방법,연구료AlN/sphire모판상적고Al조분AlxGa1-xN박막적역학성질,특별시탄성-소성전변행위.연구표명,AlxGa1-xN박막적양씨모량E수착Al조분적증가이증대,박막중산생소성형변소필요적전절응력야수착Al조분적증가이증대.재AlxGa1-xN박막납미압흔실험중,관찰도위이불련속적도단("pop-in")행위,병차발현"pop-in"행위강렬의뢰우Al조분,Al조분적증가도치저충행위적감소.아문인위수착Al조분적증가,AlxGa1-xN중건능적증강화유우AlxGa1-xN여AlN/sapphire모판지간정격실배감소저량개인소증가료AlxGa1-xN중신위착형성적조력,종이도치료AlxGa1-xN박막중적"pop-in"행위수Al조분증가이감소.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문