仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2008年
6期
1129-1133
,共5页
韩磊%黄尚廉%张洁%贺学峰%伍艺
韓磊%黃尚廉%張潔%賀學峰%伍藝
한뢰%황상렴%장길%하학봉%오예
微机电系统%光调制器%挠度方程%机械特性%有限元仿真
微機電繫統%光調製器%撓度方程%機械特性%有限元倣真
미궤전계통%광조제기%뇨도방정%궤계특성%유한원방진
光栅平动式光调制器是基于MOEMS技术的新型光调制器,利用静电力驱动可动光栅对入射光进行调制,因其具有高速开关特性与面阵化等特点使其在显示与打印方面有广阔的应用前景.但是其结构相对复杂,本文通过建立光栅平动式光调制器的机电模型,并依据力学理论及虚功原理对器件的机械特性进行了相应的分析,得出器件的载荷挠度特性.并利用CoventorWare软件进行相应的有限元仿真分析.仿真表明,在工作距离范围内,理论数据与仿真数据具有很好的拟合度,其平均误差在5%左右.
光柵平動式光調製器是基于MOEMS技術的新型光調製器,利用靜電力驅動可動光柵對入射光進行調製,因其具有高速開關特性與麵陣化等特點使其在顯示與打印方麵有廣闊的應用前景.但是其結構相對複雜,本文通過建立光柵平動式光調製器的機電模型,併依據力學理論及虛功原理對器件的機械特性進行瞭相應的分析,得齣器件的載荷撓度特性.併利用CoventorWare軟件進行相應的有限元倣真分析.倣真錶明,在工作距離範圍內,理論數據與倣真數據具有很好的擬閤度,其平均誤差在5%左右.
광책평동식광조제기시기우MOEMS기술적신형광조제기,이용정전력구동가동광책대입사광진행조제,인기구유고속개관특성여면진화등특점사기재현시여타인방면유엄활적응용전경.단시기결구상대복잡,본문통과건립광책평동식광조제기적궤전모형,병의거역학이론급허공원리대기건적궤계특성진행료상응적분석,득출기건적재하뇨도특성.병이용CoventorWare연건진행상응적유한원방진분석.방진표명,재공작거리범위내,이론수거여방진수거구유흔호적의합도,기평균오차재5%좌우.
