CAJ | 학술논문

以自制氢氧化铌、化学试剂碳酸钾、碳酸钠为原料,柠檬酸(CA)为螯合剂,乙二醇(EG)为酯化剂,采用水热辅助聚合物前驱体法在SiO2/Si基板上制备了铌酸钾钠(KNN)薄膜.研究了CA和EG用量对溶胶性能的影响,衬底和退火温度对薄膜的影响.结果表明,当n(CA):n(金属离子)=3:1,n(CA):n(EG)=1:2时,可获得稳定性好的溶胶.以水热处理过的Si片为基板得到的薄膜结晶性和致密性都有了很大的改善;随着退火温度的升高,薄膜的结晶性越来越好,所得薄膜粒径均匀,无裂纹,有定向生长的趋势.
이자제경양화니、화학시제탄산갑、탄산납위원료,저몽산(CA)위오합제,을이순(EG)위지화제,채용수열보조취합물전구체법재SiO2/Si기판상제비료니산갑납(KNN)박막.연구료CA화EG용량대용효성능적영향,츤저화퇴화온도대박막적영향.결과표명,당n(CA):n(금속리자)=3:1,n(CA):n(EG)=1:2시,가획득은정성호적용효.이수열처리과적Si편위기판득도적박막결정성화치밀성도유료흔대적개선;수착퇴화온도적승고,박막적결정성월래월호,소득박막립경균균,무렬문,유정향생장적추세.