微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
1期
63-66
,共4页
杨斌%刘景全%周广华%陈迪%张金娅%蔡炳初
楊斌%劉景全%週廣華%陳迪%張金婭%蔡炳初
양빈%류경전%주엄화%진적%장금아%채병초
SU-8胶转子%非接触%压电微马达
SU-8膠轉子%非接觸%壓電微馬達
SU-8효전자%비접촉%압전미마체
研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子.转子半径为6 mm,叶片宽度为6 mm的三叶片转子转速最高为3 569r/min.转子的启动电压和最高电压分别为8 V和24 V.
研製瞭一種非接觸壓電微馬達,通過阻抗分析儀對定子進行掃頻測試,確定其共振頻率,併且詳細介紹瞭SU-8膠轉子製作的工藝流程.利用轉速儀比較不同形狀和呎吋的轉子在調頻和調壓下的轉速,從而確立壓電微馬達的最優轉子.轉子半徑為6 mm,葉片寬度為6 mm的三葉片轉子轉速最高為3 569r/min.轉子的啟動電壓和最高電壓分彆為8 V和24 V.
연제료일충비접촉압전미마체,통과조항분석의대정자진행소빈측시,학정기공진빈솔,병차상세개소료SU-8효전자제작적공예류정.이용전속의비교불동형상화척촌적전자재조빈화조압하적전속,종이학립압전미마체적최우전자.전자반경위6 mm,협편관도위6 mm적삼협편전자전속최고위3 569r/min.전자적계동전압화최고전압분별위8 V화24 V.
