功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
8期
1325-1327,1330
,共4页
王明霞%张晶晶%杨瑾%刘谦祥%李德军
王明霞%張晶晶%楊瑾%劉謙祥%李德軍
왕명하%장정정%양근%류겸상%리덕군
射频磁控溅射%ZrN/WN纳米多层膜%调制周期
射頻磁控濺射%ZrN/WN納米多層膜%調製週期
사빈자공천사%ZrN/WN납미다층막%조제주기
选择锆和钨的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN、WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜.通过XRD,SEM和纳米力学测试系统分析了该体系合成中调制周期与ZrN、WN单层厚度比例(tZrN/tWN)对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值;当调制周期Λ=30nm,tZrN:tWN=2:3时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力以及弹性模量均达到最佳效果.多层膜的机械性能改善明显与其多层结构和多晶结构有直接的联系.
選擇鋯和鎢的氮化物作為箇體層材料,利用超高真空射頻磁控濺射繫統製備ZrN、WN及一繫列的ZrN/WN多層薄膜.通過XRD,SEM和納米力學測試繫統分析瞭該體繫閤成中調製週期與ZrN、WN單層厚度比例(tZrN/tWN)對多層膜結構與機械性能的影響.結果錶明:大部分多層膜的納米硬度與彈性模量值都高于兩種箇體材料硬度的平均值;噹調製週期Λ=30nm,tZrN:tWN=2:3時,結晶齣現多元化,多層膜體繫的硬度、應力以及彈性模量均達到最佳效果.多層膜的機械性能改善明顯與其多層結構和多晶結構有直接的聯繫.
선택고화오적담화물작위개체층재료,이용초고진공사빈자공천사계통제비ZrN、WN급일계렬적ZrN/WN다층박막.통과XRD,SEM화납미역학측시계통분석료해체계합성중조제주기여ZrN、WN단층후도비례(tZrN/tWN)대다층막결구여궤계성능적영향.결과표명:대부분다층막적납미경도여탄성모량치도고우량충개체재료경도적평균치;당조제주기Λ=30nm,tZrN:tWN=2:3시,결정출현다원화,다층막체계적경도、응력이급탄성모량균체도최가효과.다층막적궤계성능개선명현여기다층결구화다정결구유직접적련계.
