强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2006年
7期
1099-1103
,共5页
李恩德%段海峰%戴云%蒋鹏%张雨东
李恩德%段海峰%戴雲%蔣鵬%張雨東
리은덕%단해봉%대운%장붕%장우동
自适应光学%微加工薄膜变形镜%拟合能力%干涉仪
自適應光學%微加工薄膜變形鏡%擬閤能力%榦涉儀
자괄응광학%미가공박막변형경%의합능력%간섭의
借助测量微加工薄膜变形镜驱动器的面形影响函数,分析了驱动器的电压-位移函数和驱动器之间的线性叠加性;通过对连续面形变形镜拟合像差的理论分析和实验研究,建立了微加工薄膜变形镜电压解耦模型.分析了对前36阶Zernike模式的拟合残差和拟合能力,指出微加工薄膜变形镜仅可用来拟合低级像差并且有较大的拟合能力和较小的拟合残差,而不能拟合高级像差.
藉助測量微加工薄膜變形鏡驅動器的麵形影響函數,分析瞭驅動器的電壓-位移函數和驅動器之間的線性疊加性;通過對連續麵形變形鏡擬閤像差的理論分析和實驗研究,建立瞭微加工薄膜變形鏡電壓解耦模型.分析瞭對前36階Zernike模式的擬閤殘差和擬閤能力,指齣微加工薄膜變形鏡僅可用來擬閤低級像差併且有較大的擬閤能力和較小的擬閤殘差,而不能擬閤高級像差.
차조측량미가공박막변형경구동기적면형영향함수,분석료구동기적전압-위이함수화구동기지간적선성첩가성;통과대련속면형변형경의합상차적이론분석화실험연구,건립료미가공박막변형경전압해우모형.분석료대전36계Zernike모식적의합잔차화의합능력,지출미가공박막변형경부가용래의합저급상차병차유교대적의합능력화교소적의합잔차,이불능의합고급상차.
