北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2007年
2期
154-157
,共4页
王耀辉%张旭%吴先映%徐元直%张荟星%张孝吉
王耀輝%張旭%吳先映%徐元直%張薈星%張孝吉
왕요휘%장욱%오선영%서원직%장회성%장효길
非晶态碳膜%磁过滤阴极真空弧%过滤线圈电流%乙炔的体积流量%结构和性能
非晶態碳膜%磁過濾陰極真空弧%過濾線圈電流%乙炔的體積流量%結構和性能
비정태탄막%자과려음겁진공호%과려선권전류%을결적체적류량%결구화성능
采用直流金属磁过滤阴极真空弧(FCVA)制造出Ti和乙炔(C2H2)气体的双等离子体在单晶硅(100)上制备非晶态碳膜.重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响.研究结果表明,薄膜中主要成分是TiC,并以(111)作为主晶向;随着过滤线圈电流的增大,薄膜的晶粒度越来越小;薄膜表面的粗糙度逐渐减小,变得更加平整;薄膜的应力减小,可以下降到2.5 GPa.薄膜的显微硬度和弹性模量随着C2H2体积流qV(C2H2)的增大而降低,硬度和弹性模量分别可以达到33.9 GPa和237.6 GPa.非晶态碳膜的摩擦因数在0.1～0.25之间,大大低于衬底材料单晶硅片的摩擦因数0.6.随着过滤线圈电流增大,摩擦因数减小.
採用直流金屬磁過濾陰極真空弧(FCVA)製造齣Ti和乙炔(C2H2)氣體的雙等離子體在單晶硅(100)上製備非晶態碳膜.重點研究瞭乙炔氣體和過濾線圈電流對非晶態碳膜的結構、形貌和機械性能的影響.研究結果錶明,薄膜中主要成分是TiC,併以(111)作為主晶嚮;隨著過濾線圈電流的增大,薄膜的晶粒度越來越小;薄膜錶麵的粗糙度逐漸減小,變得更加平整;薄膜的應力減小,可以下降到2.5 GPa.薄膜的顯微硬度和彈性模量隨著C2H2體積流qV(C2H2)的增大而降低,硬度和彈性模量分彆可以達到33.9 GPa和237.6 GPa.非晶態碳膜的摩抆因數在0.1～0.25之間,大大低于襯底材料單晶硅片的摩抆因數0.6.隨著過濾線圈電流增大,摩抆因數減小.
채용직류금속자과려음겁진공호(FCVA)제조출Ti화을결(C2H2)기체적쌍등리자체재단정규(100)상제비비정태탄막.중점연구료을결기체화과려선권전류대비정태탄막적결구、형모화궤계성능적영향.연구결과표명,박막중주요성분시TiC,병이(111)작위주정향;수착과려선권전류적증대,박막적정립도월래월소;박막표면적조조도축점감소,변득경가평정;박막적응력감소,가이하강도2.5 GPa.박막적현미경도화탄성모량수착C2H2체적류qV(C2H2)적증대이강저,경도화탄성모량분별가이체도33.9 GPa화237.6 GPa.비정태탄막적마찰인수재0.1～0.25지간,대대저우츤저재료단정규편적마찰인수0.6.수착과려선권전류증대,마찰인수감소.
