河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
4期
369-372
,共4页
郭建新%刘保亭%魏丽静%张新%闫小兵%赵庆勋
郭建新%劉保亭%魏麗靜%張新%閆小兵%趙慶勛
곽건신%류보정%위려정%장신%염소병%조경훈
钙钛矿结构%PZT%异质结%铁电薄膜
鈣鈦礦結構%PZT%異質結%鐵電薄膜
개태광결구%PZT%이질결%철전박막
应用射频磁控溅射法在SrTiO3(STO)基片上制备了全钙钛矿结构La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.53Ti0.47O3/ La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)电容器异质结,并进行了结构和性能的表征.X射线衍射(XRD)的研究表明,LSCO/PZT/LSCO异质结在SrTiO3(STO)基片上为外延生长.对该电容器铁电性能的研究发现,在5 V驱动电压下,电滞回线饱和趋势良好,矫顽场电压为1.8 V和剩余极化强度为21.5×10-6 C/cm2,漏电流为8.9×10-8 A/cm2.实验还证实该电容器具有良好的脉冲宽度依赖性及抗疲劳特性.
應用射頻磁控濺射法在SrTiO3(STO)基片上製備瞭全鈣鈦礦結構La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.53Ti0.47O3/ La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)電容器異質結,併進行瞭結構和性能的錶徵.X射線衍射(XRD)的研究錶明,LSCO/PZT/LSCO異質結在SrTiO3(STO)基片上為外延生長.對該電容器鐵電性能的研究髮現,在5 V驅動電壓下,電滯迴線飽和趨勢良好,矯頑場電壓為1.8 V和剩餘極化彊度為21.5×10-6 C/cm2,漏電流為8.9×10-8 A/cm2.實驗還證實該電容器具有良好的脈遲寬度依賴性及抗疲勞特性.
응용사빈자공천사법재SrTiO3(STO)기편상제비료전개태광결구La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.53Ti0.47O3/ La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)전용기이질결,병진행료결구화성능적표정.X사선연사(XRD)적연구표명,LSCO/PZT/LSCO이질결재SrTiO3(STO)기편상위외연생장.대해전용기철전성능적연구발현,재5 V구동전압하,전체회선포화추세량호,교완장전압위1.8 V화잉여겁화강도위21.5×10-6 C/cm2,루전류위8.9×10-8 A/cm2.실험환증실해전용기구유량호적맥충관도의뢰성급항피로특성.
