CAJ | 학술논문

随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点.介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验.实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm.
수착MEMS화MOEMS기술적발전화기건제작대저성본、령활、고효적수구,수자회도무엄모광각기술이성위인문연구적열점.개소료일충기우수자미경기건(DMD)적무엄모수자회도투영광각기술,결합전심지수자미경진렬적공작방식,분석료DMD적회도조제궤리화투영성상특성;천술료DMD미경결구여투영계통적배수、수치공경적관계;설계료투영광각계통,병진행료분변력화삼유면형적폭광실험.실험결과표명,수자회도투영광각기술령활、방편,우기재삼유부조미결구적제작방면,가실현광각회도적수자화조제,표면조조도가체0.1μm.